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RSoft®

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DiffractMOD

DiffractMOD는 DOEs(diffractive optical elements), 파장이하 주기구조, 그리고 광 밴드갭 결정과 같은 회절광학 구조를 설계하고 시뮬레이션하는 툴입니다. fast Fourier factorization와 일반화된 transmission line formulation을 포함하는 고급 알고리즘 RCWA(Rigorous Coupled Wave Analysis) 기술을 기반으로 합니다. 이 툴은 반도체 제조와 파동광학을 포함하는 광범위한 분야에 적용 될 수 있습니다.

적용분야

- Waveguide resonance gratings
- Diffractive Optical Elements (DOEs)
- Surface relief and volume index gratings
- Wavelength filters
- Optical metrology
- Nano-lithography
- Polarization sensitive devices		 - Artificial dielectric coatings
- Photovoltaic systems
- 3D displays
- Optical interconnections
- Optical data storage
- Spectroscopy
특징
- fast Fourier factorization와 일반화된 transmission line formulation을 포함하는
고급 알고리즘인 RCAW (Rigorous Coupled Wave Analysis) 기술 기반
- 반도체 제조와 파동광학을 포함하는 넓은 범위의 어플리케이션에서 활용
- 성능향상을 위해서 기본적인 RCWA를 확장한 진보된 알고리즘		 - 회절에 대한 다양한 그래픽, 회절 효과 스펙트럼 출력 및 계산
- 다양한 회절 효과 계산(Spectrums vs, wavelength, angle, polarization)
- 어떤 위치에서든지 필드의 프로파일을 계산하고 보여주는 정교한 필드 출력 옵션
- 일반적인 계측 파라미터(common metrology parameters)를 직접 출력
도입고객
기업 대학교 및 교육기관 연구소 및 기타
- Cannon
- Panasonic
- Sony
- Sumitomo
- Ricoh
- Toshiba
- Hitachi
- Nikon		 - Sharp
- Fujitsu
- NEC
- Samsung
- NTT
- Philips
- Mitsubishi
- LG		 - Princeton University
- California Institute of Technology
- Cornell University
- University of California
- McMaster University
- Tokyo Institute of Technology
- The University of Tokyo
- Kyoto University		 - Ajou University
- Tsinghua University
- Osaka University
- University of Twente
- Universitat Heidelberg
- Gwangju Institute of Science
and Technology
- Israel Institute of Technology		 - Air Force Research Laboratory
- Sandia National Laboratories
- AIST
- NICT
- DSO
- KAIST
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