ºÐÇÒ ¿µ¿ª ASMÀ» Ȱ¿ëÇÑ ºÐ¼® [Meta Component/Analysis]´ë¸éÀû ¸ÞŸǥ¸é ¼³°è´Â ¾÷°è¿¡¼ ¿À·§µ¿¾È ³Á¦·Î ¿©°ÜÁ® ¿Ô½À´Ï´Ù. FDTD¿Í °°Àº ÀüÆÄ(full-wave) ÇØ¼® ¹æ¹ýÀº ¼ö½Ê ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Å©±â±îÁö¸¸ ½Ç¿ëÀûÀÔ´Ï´Ù. ±¹¼Ò Áֱ⠱ٻç¹ý(local periodic approximation)°ú °°Àº ±â¹ýÀ¸·Î È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸, ¿©ÀüÈ÷ ¼ö¹é¸¸ °³ »ê¶õÀÚ(scatterer)¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ¸î mm Á¤µµÀÇ ¹üÀ§·Î Á¦Çѵ˴ϴÙ. ÀÌ·¯ÇÑ ´ë¸éÀû ¸ÞŸǥ¸éÀÇ ¼³°è¿¡¼ ¸Þ¸ð¸® »ç¿ëÀÌ Å« º´¸ñÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù. À̹ø 2026³â 1¿ù ¾÷µ¥ÀÌÆ®µÈ PlanOpSim ¹öÀüÀº ÃÖ´ë 9¾ï °³ÀÇ »ê¶õÀÚ, Áï À¯´Ö ¼¿ 500nm ±âÁØ 15mm ¸ÞŸǥ¸é±îÁö ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹üÀ§¸¦ ´ëÆø È®ÀåÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ´Â PlanOpSimÀÌ ¡°¸ÞŸǥ¸é ¼³°èÀÇ ´ëÇ¥ µµ±¸¡±·Î ÀÚ¸®Àâ°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ ´Ù½Ã ÇÑ ¹ø ÀÔÁõÇÑ ¼º°úÀÔ´Ï´Ù. À̹ø ±â·ÏÀº »õ·Î¿î ¡®ºÐÇÒ ¿µ¿ª ASM(Angular Spectrum Method)¡¯ ±â´É ´öºÐ¿¡ °¡´ÉÇØÁ³½À´Ï´Ù. ÀÌ ±â¹ýÀº ÀÌÀü¿¡´Â ³Ê¹« Ä¿¼ ÇØ¼®ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇß´ø ±¸¼º¿ä¼ÒÀÇ ¿ø°Å¸®Àå(far-field)À» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. ¼øÂ÷Àû ºÐ¼® ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ ¸Å¿ì Å« ¿µ¿ªµµ È¿À²ÀûÀ¸·Î ´Ù·ê ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ±â´ÉÀ» ÅëÇØ ÃÖ´ë 30,000 x 30,000 ¸ÞŸ¿øÀÚ, Áï 15 x 15mm(500nm ¼¿ ±âÁØ) ¸ÞŸǥ¸éÀÇ ¼³°è ¹× ÇØ¼®ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |